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ㆍ초고위치 결정 정밀도 실현
ㆍ무제한 선회 이동 실현
ㆍ초고속화 대응 가능 - 고분해형 (종래와 동일한 속도)
ㆍ완전 밀봉 구조에 의해,Class 1(0.1 ㎛) 2001년 4월 판매예정
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[ 연락처 정보 ] |
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CS ENG |
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회사 : CS ENG
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